[发明专利]衬底处理装置有效
| 申请号： | 200610077182.8 | 申请日： | 2006-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN1858654A | 公开（公告）日： | 2006-11-08 |
| 发明（设计）人： | 滨田哲也 | 申请（专利权）人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;H01L21/68 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王玉双;郑特强 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衬底 处理 装置 | ||
【说明书】：
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