[发明专利]封装载体的检测方法及其装置有效
申请号: | 200610078938.0 | 申请日: | 2006-04-27 |
公开(公告)号: | CN101064266A | 公开(公告)日: | 2007-10-31 |
发明(设计)人: | 卢一成;刘光华;沈更新 | 申请(专利权)人: | 南茂科技股份有限公司;百慕达南茂科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 王允方;刘国伟 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 封装 载体 检测 方法 及其 装置 | ||
1.一种封装载体的检测方法,包含下列步骤:
将一标示测量图形的透光测量片对准于一封装载体;
检视所述封装载体上至少一细部构造与所述透光测量片的所述测量图形的相对 关系;和
根据所述相对关系判断所述封装载体是否不良。
2.根据权利要求1所述的封装载体的检测方法,其中所述封装载体为金属导线架或卷 带式封装的胶带。
3.根据权利要求2所述的封装载体的检测方法,其中不良包括所述金属导线架的内引 脚歪斜或是尺寸的大小。
4.根据权利要求2所述的封装载体的检测方法,其中所述不良包括所述卷带式封装的 胶带上孔位或线路的位置偏移或是所述孔位或线路尺寸的大小。
5.根据权利要求2所述的封装载体的检测方法,其中所述不良包括所述金属导线架上 孔位或线路的位置偏移或是所述孔位或线路尺寸的大小。
6.根据权利要求1所述的封装载体的检测方法,其中所述测量图形为所述封装载体的 正确细部尺寸加上可允许误差范围的图案。
7.一种封装载体的检测装置,用来检测一封装载体的细部尺寸,包含:
一透光测量片,叠置于所述封装载体表面,且所述透光测量片表面标示有至少一 个测量图形;和
一承载座,可承托并固定所述封装载体;
通过检视所述封装载体的细部尺寸与所述透光测量片的所述测量图形的相对关 系,判断所述封装载体上至少一细部构造是否不良。
8.根据权利要求7所述的封装载体的检测装置,其中所述测量图形为所述封装载体的 正确细部尺寸加上可允许误差范围的图案。
9.根据权利要求7所述的封装载体的检测装置,其中所述透光测量片上的测量图形用 来测量所述封装载体上至少一细部构造的位置公差。
10.根据权利要求7所述的封装载体的检测装置,其中所述透光测量片上的测量图形用 来测量所述封装载体上至少一细部构造的尺寸公差。
11.根据权利要求7所述的封装载体的检测装置,其中所述透光测量片上的测量图形用 来测量所述封装载体上至少一细部构造的位置公差与尺寸公差。
12.根据权利要求7所述的封装载体的检测装置,其中所述透光测量片上具有至少两个 测量图形,其中一测量图形为可测量尺寸公差,另一测量图形则为可测量位置公差。
13.根据权利要求12所述的封装载体的检测装置,其中所述透光测量片上的所述至少两 个测量图形分别用来测量所述封装载体上同一细部构造的位置公差与尺寸公差。
14.根据权利要求12所述的封装载体的检测装置,其中所述透光测量片上的所述至少两 个测量图形分别用来测量所述封装载体上第一细部构造的位置公差与第二细部构 造的尺寸公差。
15.根据权利要求7所述的封装载体的检测装置,其另外包含一上盖体,所述上盖体压 合在所述透光测量片上,使所述透光测量片完全贴合并对准在所述封装载体表面。
16.根据权利要求15所述的封装载体的检测装置,其中所述上盖体具有复数个观测视 窗,以供检视各所述封装载体及对应所述透光测量片的测量图形间相对位置关系。
17.根据权利要求7所述的封装载体的检测装置,其中所述承载座设有呈阶梯状的复数 个承靠面,供不同宽度的所述封装载体分别固定于对应的所述承靠面上。
18.根据权利要求7所述的封装载体的检测装置,其另外包含一设于所述承载座下方的 发光元件,所述发光元件发出的光线照射到所述封装载体和所述透光测量片。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造