[发明专利]平面显示器的制造方法、平面显示器用玻璃基板的外表削减装置

说明书

技术领域

本发明有关液晶显示器或等离子显示器、有机电激发光显示器等平面显示器(以下称为FPD)的制造。

背景技术

液晶显示器或等离子显示器等FPD，是广泛使用于计算机显示装置或TV受像器用、移动电话显示部用等各种电子机器。最今还进行有为了自发光而不需背光的高速反应性优良的有机EL显示器开发，且未来受到期望。

此种FPD所要求的课题之一就是薄型化。薄型化是伴随其所装载的电子机器的薄型化或小型化、轻量化而要求的。例如笔记本计算机或移动电话中，是要求更加薄型化或轻量化，随之FPD也要求更薄更轻量。

作为FPD的薄型化或轻量化的重要要素是玻璃基板。不论液晶显示器、等离子显示器、或是有机EL显示器，都采用黏贴一对基板，在其内面配置组件电极的构造。玻璃的比重较重，又有确保机械性强度的必要性，故必须有一定程度的厚度。从而，玻璃基板的存在对于FPD的薄型化或轻量化会造成阻碍。

许多FPD制造工序中，是采用从较大的一对玻璃基板中生产多数FPD的工艺。一对玻璃基板，其区分为所生产的各FPD用途，于各区域分别形成组件电极。在黏贴等工序结束之后，一对玻璃基板会被切割为各区域，而进入修饰工序。

此种从一对玻璃基板产生多数FPD的工艺，因为进行工序的集简化而有可降低制造成本的优点，但是有玻璃基板变大的倾向。例如液晶显示器的制造工艺中，是使用2000mm×1800mm左右大小的玻璃基板。处理这么大的玻璃基板时，若玻璃基板太薄，则容易断裂，或因为本身重量而折弯。从而必须有一定程度的厚度。

另一方面，切断为各区域之后者(半成品)或成为成品者，即使玻璃基板薄到一个程度，也因为尺寸较小而没有问题。从这点来看，日本特开平5-249422号公报的发明中，是采用在进行一对玻璃基板的黏贴后，蚀刻一边的玻璃基板外面来打薄，之后切断为各区域的工艺。

发明内容

在上述公报所记载的发明中，蚀刻是进行着利用浸泡到溶出液的方式。但是更进一步，经由本申请发明者的研究，在该方法的蚀刻中，对FPD来说，针对非常重要的要素的平坦性的特点而言，是没办法确保有足够的品质。关于这一点，说明于如下。

在前述公报揭示的发明中，由浸泡法所揭示的资料，是否使用这种蚀刻液，一切并无具体的说明。经由本申请发明者的研究，考虑有使用氢氟酸来做为蚀刻液。但是更进一步，对仅仅浸泡于氢氟酸的玻璃基板而言，进行确保FPD所要求的平坦性的蚀刻是困难的。

将玻璃浸泡于氢氟酸后，玻璃表面与氢氟酸发生反应，慢慢地软化并进行溶解。对于把蚀刻后的表面进行平坦而言，把反应后的蚀刻液置换掉的新鲜的(未反应的)蚀刻液进行均一地供给是为必要。但是，对浸泡法而言是困难的。通过与蚀刻液的反应、把软化掉的玻璃材料取除掉，于该下层供给新鲜的蚀刻液是必要的；因为把软化溶解掉的玻璃材料均一地蚀刻掉是很困难的缘故，使得蚀刻后的表面平坦性不佳。

但玻璃基板，其组成或是结晶的状态并非为完全地均一，具有不均一处是无法避免的。在利用浸泡法的蚀刻上，因为仅只有化学上的作用的原因，容易受到组成或是不均一性的影响。亦即，在局部难以蚀刻的组成或是结晶状态的场合下，会在此留下没有蚀刻到的痕迹，容易产生蚀刻量的不均。对于此点，在浸泡法上，容易让平坦性恶化。通过上述浸泡法的蚀刻，不适合于实用上。

本申请的发明目的是为了解决上述技术问题而提供可达成FPD薄型化的实用技术方案。

本申请发明的一方面是提供一种平面显示器的制造方法，其包含：于一方或双方为玻璃基板的一对基板中最少一方形成电极的电极形成工序，于电极形成工序后经由密封材黏贴一对基板来密封内部的密封工序，在密封工序之后将玻璃基板亦即一方或双方的基板外面加以削减厚度来打薄的外面削减工序；其中所述外面削减工序，具有将溶出上述玻璃基板外面的溶出液，向着上述外面喷射，附加有比本身重量所造成的重力加速度还要大的加速度，使溶出液往上述外面喷出并冲击上述外面，利用溶出液造成的冲击的物理作用再加上溶出液的化学作用，将玻璃外表溶出以进行削减的构造。

本发明的进一步特点是所述溶出液是氢氟酸。

本发明的进一步特点是所述溶出液造成所述外面的冲击时的压力是0.5kg/cm²～3.5kg/cm²的范围。

本发明的进一步特点是在溶出液喷射中是使所述外面成为垂直入射姿势，以保持所述基板。

本发明的进一步特点是将所述黏合后的一对玻璃基板的双方外面，同时加以切削，以将整体厚度变薄。