[发明专利]激光加工机的聚光透镜的污垢检测方法及装置无效
申请号: | 200610084871.1 | 申请日: | 2006-05-23 |
公开(公告)号: | CN101078691A | 公开(公告)日: | 2007-11-28 |
发明(设计)人: | 山崎恒彦;宫川直臣 | 申请(专利权)人: | 山崎马扎克公司 |
主分类号: | G01N21/958 | 分类号: | G01N21/958;B23K26/06;B23K26/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 刘建 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 加工 聚光 透镜 污垢 检测 方法 装置 | ||
1.一种激光加工机的聚光透镜的污垢检测方法,该激光加工机,具备:具有会聚从激光谐振器供给的激光束的聚光透镜的加工头、和检测在会聚的激光束的焦点位置与加工物表面一致时产生的强光的光传感器,其中:
通过检测聚光透镜的焦点位置的变化,而检测聚光透镜的污垢。
2.一种激光加工机的聚光透镜的污垢检测装置,该激光加工机,具备:保持加工物的工作台、在与工作台垂直的方向的坐标轴即Z轴方向上移动的加工头、控制加工头的移动并存储Z轴的坐标位置的控制装置、安装在加工头内并会聚从激光谐振器供给的激光束的聚光透镜、检测在聚光透镜会聚的激光束的焦点位置与加工物表面一致时产生强光并将信号发送给控制装置的受光装置,其中:
控制装置,通过比较具有正常的聚光透镜的加工头的焦点位置的Z轴坐标和聚光透镜的污垢形成的焦点位置的Z轴坐标,检测聚光透镜的污垢。
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