[发明专利]单色仪衍射光栅角位移的控制方法

权利要求书

1、一种单色仪衍射光栅角位移的控制方法：

本控制系统由衍射光栅(1)，光栅座(2)，连接轴(3)，轴承(4)及轴承座(6)，伺服电机(8)与伺服电机驱动器(10)，光电编码器(9)，角位移控制板(11)等零部件组成。

本控制方法为：根据单色仪衍射光栅(1)角位移量的要求，由角位移控制板(11)输出设定的角位移控制信号给伺服电机驱动器(10)，伺服电机驱动器(10)将信号进行功率放大后驱动伺服电机(8)转动，伺服电机(8)通过连接轴(3)带动光栅座(2)和衍射光栅(1)转动，与此同时与伺服电机(8)同轴安装的光电编码器(9)检测到伺服电机(8)的角位移量并将获取的信息反馈给角位移控制板(11)，角位移控制板(11)根据此信息进行计算、判断并调整输出信号来改变伺服电机(8)的角位移量，实现光栅单色仪衍射光栅(1)的精确角位移控制。

2、根据权利要求1所述的单色仪衍射光栅角位移的控制方法，其特征在于：所述的衍射光栅(1)安装在光栅座(2)上，光栅座(2)通过连接轴(3)与伺服电机(9)紧密相连。本装置实现了从伺服电机(9)到衍射光栅(1)之间无机械传动环节的紧密连接，因此排除了机械传动所造成的误差与影响。

3、根据权利要求1所述的单色仪衍射光栅角位移的控制方法，其特征在于：本控制系统增加了光电编码器(9)的反馈与闭环控制环节，所以大大提高了光栅单色仪的精度和稳定性。

4、根据权利要求1或2或3所述的单色仪衍射光栅角位移的控制方法，其特征在于：所述的伺服电机(8)配套有光电编码器(9)和伺服电机驱动器(10)以及由单片机系统组成的角位移控制板(11)。