[发明专利]凹凸图案形成方法、母盘、压模及磁记录介质的制造方法无效
| 申请号： | 200610088681.7 | 申请日： | 2006-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN1873531A | 公开（公告）日： | 2006-12-06 |
| 发明（设计）人： | 大川秀一;中田胜之;服部一博;高井充 | 申请（专利权）人： | TDK股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;H01L21/027;G11B5/62 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 雷志刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 凹凸 图案 形成 方法 母盘 记录 介质 制造 | ||
【说明书】：
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