[发明专利]硅V形槽板及利用硅V形槽板装配微丝电极阵列的方法

权利要求书

1.一种硅V形槽板，其特征在于，包括：

一硅底板，该硅底板为长方体，在其上面的一侧开有一端部贯通的凹槽；在凹槽的另一侧纵向开有多个V形槽。

2.根据权利要求1所述的硅V形槽板，其特征在于，其中所述的凹槽与V形槽的深度相同，该V形槽中置入微丝电极。

3.根据权利要求1所述的硅V形槽板，其特征在于，其中所述的凹槽之和的宽度小于或等于V形槽宽度。

4.根据权利要求1所述的硅V形槽板，其特征在于，其中所述的V形槽与微丝电极的半径r的关系为：

5.根据权利要求1所述的硅V形槽板，其特征在于，其中所述的V形槽的角度为70.52°。

6.一种利用硅V形槽板装配微丝电极阵列的方法，其是使用权利要求1所述的硅V形槽板，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1：取一V形槽板及对应V形槽板上的V形槽数量的微丝电极；

步骤2：在V形槽板上的V形槽中排布微丝电极；

步骤3：将放置在V形槽内的微丝电极固定，实现电极阵列的制作。

7.根据权利要求6所述的利用硅V形槽板装配微丝电极阵列的方法，其特征在于，其中微丝电极是不锈钢、钨、铂、铱金属丝或及其组合的金属丝。

8.根据权利要求6所述的利用硅V形槽板装配微丝电极阵列的方法，其特征在于，其中该微丝电极的长度大于V形槽的长度。

9.根据权利要求6所述的利用硅V形槽板装配微丝电极阵列的方法，其特征在于，其中将放置在V形槽内的微丝电极固定，所述的固定是采用导电胶粘覆或是焊接。