[发明专利]双折射光学器件相位延迟量及快轴方向的测量方法及装置

权利要求书

1、双折射光学器件相位延迟量及快轴方向的测量方法，将激光器发出的一对正交双频激光进行分光分成反射光和透射光；所述反射光和透射光两路光中有一路光经过改变偏振角后通过双折射被测样品测量点，其特征在于该路光折返再通过所述被测样品测量点，使光束中两个频率的偏振分量的相位发生不同的延迟，引起相位变化；然后使两路光在分别经过检偏器合成后，分别转化为具有不同相位差的参考拍频信号和测量拍频信号；至少获得两次相位差，就可计算出测量点相位延迟量及快轴方向；记录下每个被测样品测量点参考拍频信号和测量拍频信号的相位差，通过计算即可得到被测样品的相位延迟量和快轴方向。

2、根据权利要求1所述的双折射光学器件相位延迟量及快轴方向的测量方法，其特征在于所述被测样品测量点可以是误差允许范围内的测量区域。

3、根据权利要求1或2所述的双折射光学器件相位延迟量及快轴方向的测量方法，其特征在于所述光的折返是在穿过被测样品的光路中被测样品之后依次设置会聚透镜和平面镜实现或者采用角锥棱镜实现或者采用空心角隅棱镜实现。

4、根据权利要求1或2所述的双折射光学器件相位延迟量及快轴方向的测量方法，其特征在于所述至少两次相位差是指在被测样品前的光路上设置二分之一波片，所述透射光正向、反向经过该波片，使该波片主轴分别位于至少两个角度时获得至少两次相位变化从而得到参考拍频信号和测量拍频信号的至少两次相位差来实现的。

5、根据权利要求1或2所述的双折射光学器件相位延迟量及快轴方向的测量方法，其特征在于所述至少两次相位差的实现方法为：在被测样品前的光路上设置二分之一波片，且所述二分之一波片部分地位于光路中，使所述透射光的一部分经过该波片，则经过所述被测样品测量点的透射光包含有改变偏振角和未改变偏振角的两部分，然后在检偏器合成前将该路光的两部分分开，再分别经过检偏器，得到的两个测量拍频信号分别与参考拍频信号对比形成两次相位差。

6、采用权利要求1-5之一所述测量方法的测量装置，其特征在于包括在双频激光器发射光路上设置的一个分光镜，在所述分光镜透射方向上依次设置的二分之一波片、被测样品、会聚透镜和平面反射镜，及在该分光镜的反射光方向及其反方向上各设置的检偏器，所述检偏器分别与光电转换装置相连后再与计算装置相连；所述平面反射镜设置在会聚透镜的焦平面上。

7、根据权利要求6所述的测量装置，其特征在于所述测量装置中的会聚透镜和平面反射镜可置换为角锥棱镜或空心角隅棱镜。

8、根据权利要求6或7所述的测量装置，其特征在于所述二分之一波片部分地位于光路中，使所述透射光的一部分经过该波片，并在所述分光镜的反射光方向的反方向设置一个楔形反射镜，把从分光镜返回的光束分为两半，分别为偏振角改变和未改变的光束，在分开的光束的光路上再分别设置一个检偏器。