[发明专利]电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环无效
| 申请号： | 200610089390.X | 申请日： | 2006-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN1877998A | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | 樊尚春;蔡晨光;邢维巍 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | H03L7/18 | 分类号： | H03L7/18;G01H11/06 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 关玲;成金玉 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电阻 拾振式硅 微机 谐振 传感器 数字 闭环 | ||
【说明书】：
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