[发明专利]一种蒸镀模板及其应用有效
申请号: | 200610089426.4 | 申请日: | 2006-06-26 |
公开(公告)号: | CN1865486A | 公开(公告)日: | 2006-11-22 |
发明(设计)人: | 邱勇;吴空物;高裕弟;张德强 | 申请(专利权)人: | 清华大学;北京维信诺科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100084北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 模板 及其 应用 | ||
【权利要求书】:
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