[发明专利]基板匣

说明书

技术领域

本发明是有关于一种卡匣的结构，且特别是有关于一种基板匣(substrate cassette)的结构。

背景技术

随着现代视讯技术的进步，各式显示器已被大量地使用于手机、笔记型电脑、数码相机及个人数字助理等消费性电子产品的显示萤幕上。在这些显示器中，由于液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)及有机电激发光显示器(Organic Light Emitting Diode，OLED)具有重量轻、体积小及耗电量低等优点，使得其成为市场上的主流。

无论液晶显示器或是有机电激发光显示器，其前期制作方式均是利用半导体制程在基板上形成像素单元。随着元件的制作朝着高密度设计发展，定义在基板上的元件尺寸持续缩小，而使相关的电路设计更为繁复。连带的，也导致相关的显示器制程，需要进行相当多的步骤，才能在玻璃基板上制作出所需的像素单元。是以，对一特定批次的基板来说，由投片开始至验证出货之间，会在多数制程机台间往返传送并进行所需的制程。为了避免这些基板在反复的传递过程间发生损坏或沾惹灰尘，操作人员会利用机器传送手臂将基板储放于基板匣(substrate cassette)中，再将基板匣搬动至下一个作业机台以进行一连串的制程。

图1为现有的一种基板匣的立体示意图。请参考图1，现有的基板匣100是由多数盖板110组合而成的盒体结构，以适于放置多数基板50。基板匣100具有一开口120，而开口120是同时作为这些基板50的载入及载出口。当欲自基板匣100内取用基板50时，可利用传送手臂(未绘示)将基板50经由开口120取出，以送至特定的机台作业；反之，基板50可经由开口120而传送至基板匣100内部储放。

承接上述，由于基板匣100只具有单一开口120可供基板50载入及载出，如此基板匣100的配设位置须使开口120面向传送手臂，因而增加设计各机台相对位置的困难度。此外，只具有单一开口120的基板匣100每次只能配合单独一台传送手臂进行基板50的存取，因此存取基板50的速度有限。

图2为现有的一种基板匣运送系统的示意图。请参考图2，现有的基板匣运送系统200包括一传送手臂210、一第一输送机220、一第二输送机230、一检查机台240及如图1所示的基板匣100，其中第一输送机220、第二输送机230、检查机台240及基板匣100分别位于传送手臂210的四个侧边处。此外，传送手臂210的周围设有一围栏250，以避免作业人员误入传送手臂210的活动区域而发生意外伤害。

承接上述，由于第一输送机220、第二输送机230、检查机台240及基板匣100是位于传送手臂210的四周，因此基板匣运送系统200占用的空间无法降低，并且围栏250所围的区域范围亦无法减少。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的是提供一种基板匣，其具有多个方向的载入口及载出口。

本发明的另一目的是提供一种基板匣运送系统，以降低机台的配置面积。

为达上述或是其他目的，本发明提出一种基板匣，适于放置至少一基板。基板匣包括一上盖板、一下盖板、多数支柱及多数悬臂部。上盖板是相对于下盖板，而多数支柱是连接上盖板与下盖板以形成一容纳空间。多数悬臂部是固定在这些支柱上，且每一悬臂部由支柱往容纳空间的内部延伸，其中在同一水平面上的每一支柱上会固定有一个悬臂部，用以支撑基板。此外，基板匣具有多数基板载入及载出口，每一基板载入及载出口是位于相邻的支柱之间。

在本发明的一实施例中，前述的基板载入及载出口包括一载入口以及邻接载入口的一载出口，以使基板载入基板匣的方向垂直于基板载出基板匣的方向。

在本发明的一实施例中，前述的基板载入及载出口包括一载入口以及位于该载入口对向的一载出口，以使该基板载入该基板匣的方向平行于该基板载出该基板匣的方向。

在本发明的一实施例中，基板匣更包括至少一侧盖板，覆盖于载出口与载入口以外的基板载入及载出口。

在本发明的一实施例中，较接近支柱处的悬臂部厚度可大于其远离支柱处的厚度。

在本发明的一实施例中，前述的悬臂部的厚度可由支柱处往容纳空间内部逐渐变小。

在本发明的一实施例中，较接近支柱处的悬臂部宽度可大于其远离支柱处的宽度。

在本发明的一实施例中，前述的悬臂部的宽度可由支柱处往容纳空间内部逐渐变小。

在本发明的一实施例中，前述的悬臂部具有一仰角，而仰角的较佳范围是介于0.1度至5度之间。