[发明专利]集成电子电路的掩模形成无效
| 申请号： | 200610091585.8 | 申请日： | 2006-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN1900826A | 公开（公告）日： | 2007-01-24 |
| 发明（设计）人： | J·布思托司;P·东尼;P·克洛奈尔 | 申请（专利权）人： | 圣微电子（克若乐斯2）联合股份公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 法国克*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 集成 电子电路 形成 | ||
【权利要求书】：
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