[发明专利]盘装置校正系统、信息管理装置、母盘生产装置和母盘生产方法无效
申请号: | 200610093127.8 | 申请日: | 2006-06-22 |
公开(公告)号: | CN101025984A | 公开(公告)日: | 2007-08-29 |
发明(设计)人: | 铃木启之;山田朋良;福士雅则;高石和彦;丸山次人;黑山纯夫 | 申请(专利权)人: | 富士通株式会社 |
主分类号: | G11B21/10 | 分类号: | G11B21/10;G11B5/58 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 孙海龙 |
地址: | 日本神奈*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 校正 系统 信息管理 母盘 生产 方法 | ||
【权利要求书】:
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