[发明专利]控制金属栅极叠层中平带/阈值电压的方法及其结构有效
| 申请号： | 200610093844.0 | 申请日： | 2006-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN1885560A | 公开（公告）日： | 2006-12-27 |
| 发明（设计）人： | 雷贾拉奥·詹米;斯蒂芬·L·布朗;维杰伊·纳拉亚南;瓦姆西·K·帕鲁丘里;陈自强 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/51;H01L21/336;H01L21/28;H01L21/314 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒;魏晓刚 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 控制 金属 栅极 中平 阈值 电压 方法 及其 结构 | ||
【说明书】：
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