[发明专利]加工方法、加工装置及半导体器件的制造方法无效
| 申请号： | 200610094255.4 | 申请日： | 2003-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN1877457A | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | 竹石知之;川野健二;池上浩;伊藤信一;高桥理一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;H01L21/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 陈海红;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加工 方法 装置 半导体器件 制造 | ||
【权利要求书】：
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