[发明专利]降低超纯水中微量有机物的方法及其系统

权利要求书

1.一种降低超纯水中微量有机物的方法，其特征在于，包含步骤：

提供一总有机碳浓度小于1ppb以下的超纯水，其包含一微量有机物；

降解该超纯水的该微量有机物，使该微量有机物解离为一带电离子；及

将该超纯水导入一连续式电解去离子装置以去除该带电离子。

2.根据权利要求1所述的降低超纯水中微量有机物的方法，其特征在于，该微量有机物被一高级氧化方式降解。

3.根据权利要求1项所述的降低超纯水中微量有机物的方法，其特征在于，该高级氧化方式为紫外光氧化或紫外光/臭氧氧化方式。

4.根据权利要求1所述的降低超纯水中微量有机物的方法，其特征在于，还包含脱气处理该超纯水的步骤。

5.根据权利要求1所述的降低超纯水中微量有机物的方法，其特征在于，该连续式电解去离子装置包含：

一对正负电极；

多离子选择性透过膜，在该对正负电极间以离子选择性透过膜分隔出多数个浓缩室及多数个脱盐室；及

至少一离子交换树脂，在该脱盐室中设置一离子交换树脂，该离子交换树脂内的离子可选择性的与脱盐室中的带电离子交换，并以该对正负电极吸引该带电离子通过离子选择性透过膜，使该带电离子移动至浓缩室，而将在该脱盐室的超纯水处理的更洁净。

6.根据权利要求5所述的降低超纯水中微量有机物的方法，其特征在于，该离子交换树脂包含阳离子交换树脂、阴离子交换树脂及不再生离子交换树脂。

7.根据权利要求5所述的降低超纯水中微量有机物的方法，其特征在于，该浓缩室所通过的水压及水量不得大于通过该脱盐室的水压及水量。

8.根据权利要求1项所述的降低超纯水中微量有机物的方法，其特征在于，该连续式电解去离子装置的较佳操作电流介于0.1至0.8安培。

9.一种降低超纯水中微量有机物的系统，其特征在于，包含：

一超纯水供应装置，用以提供一总有机碳浓度小于1ppb以下的超纯水，其包含一微量有机物；

一降解处理装置，用以降解该超纯水制造装置所提供的该超纯水，使该微量有机物解离为一带电离子；及

一连续式电解去离子装置，用以去除该超纯水的该带电离子。

10.根据权利要求9所述的降低超纯水中微量有机物的系统，其特征在于，该超纯水供应装置选自纯水制造系统的前处理系统、主处理系统、末段循环回路其中之一。

11.根据权利要求9所述的降低超纯水中微量有机物的系统，其特征在于，该降解处理装置为紫外光处理装置或紫外光/臭氧处理装置。

12.根据权利要求9所述的降低超纯水中微量有机物的系统，其特征在于，还包含一脱气装置，用以去除该超纯水所含的气体。

13.根据权利要求9所述的降低超纯水中微量有机物的系统，其特征在于，该连续式电解去离子装置包含：

一对正负电极；

多离子选择性透过膜，在该对正负电极间以离子选择性透过膜分隔出多数个浓缩室及多数个脱盐室；及

至少一离子交换树脂，在该脱盐室中设置一离子交换树脂，该离子交换树脂内的离子可选择性的与脱盐室中的带电离子交换，并以该对正负电极吸引该带电离子通过离子选择性透过膜，使该带电离子移动至浓缩室，而将在该脱盐室的超纯水处理的更洁净。

14.根据权利要求13所述的降低超纯水中微量有机物的系统，其特征在于，该离子交换树脂包含阳离子交换树脂、阴离子交换树脂及不再生离子交换树脂。

15.根据权利要求13所述的降低超纯水中微量有机物的系统，其特征在于，该浓缩室所通过的水压及水量不得大于通过该脱盐室的水压及水量。

16.根据权利要求13所述的降低超纯水中微量有机物的系统，其特征在于，该连续式电解去离子装置的较佳操作电流介于0.1至0.8安培。