[发明专利]金属腐蚀抑制的方法无效
| 申请号： | 200610098430.7 | 申请日： | 2006-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN101100744A | 公开（公告）日： | 2008-01-09 |
| 发明（设计）人： | 金光祖;陈秋美;林月婷 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | C23C22/05 | 分类号： | C23C22/05;C23C22/06 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 梁挥;徐金国 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属腐蚀 抑制 方法 | ||
1.一种金属腐蚀抑制的方法，应用于一含金属的基材，其表面与一反应溶液接触，其特征在于，保护步骤：
混合一臭氧于该反应溶液；及
形成一金属氧化物保护层于该含金属的基材表面。
2.根据权利要求1所述的金属腐蚀抑制的方法，其特征在于，该反应溶液的较佳臭氧浓度范围为0.1～30百万分比浓度。
3.根据权利要求1所述的金属腐蚀抑制的方法，其特征在于，该臭氧是溶于一溶液再添加于该反应溶液。
4.根据权利要求3所述的金属腐蚀抑制的方法，其特征在于，该溶液包含一添加物。
5.根据权利要求4所述的金属腐蚀抑制的方法，其特征在于，该添加物包含一无机酸及其盐类其中之一或该无机酸及其盐类的任意组合。
6.根据权利要求5所述的金属腐蚀抑制的方法，其特征在于，该无机酸包含碳酸、磷酸、硝酸、硼酸及硅酸所组成的族群其中之一。
7.根据权利要求5所述的金属腐蚀抑制的方法，其特征在于，该添加物的较佳浓度为10-5～10-1摩尔浓度。
8.根据权利要求1所述的金属腐蚀抑制的方法，其特征在于，该臭氧是呈气态直接溶解于该反应溶液。
9.根据权利要求1所述的金属腐蚀抑制的方法，其特征在于，还包含混合一添加物于该反应溶液的步骤。
10.根据权利要求9所述的金属腐蚀抑制的方法，其特征在于，该添加物包含一无机酸及其盐类其中之一或该无机酸及其盐类的任意组合。
11.根据权利要求10所述的金属腐蚀抑制的方法，其特征在于，该无机酸包含碳酸、磷酸、硝酸、硼酸及硅酸所组成的族群其中之一。
12.根据权利要求10所述的金属腐蚀抑制的方法，其特征在于，该添加物的较佳浓度为10-5～10-1摩尔浓度。
13.根据权利要求1所述的金属腐蚀抑制的方法，其特征在于，该反应溶液包含超纯水、去离子水及含有酸碱药剂的水溶液其中之一。
14.根据权利要求1所述的金属腐蚀抑制的方法，其特征在于，该反应溶液包含蚀刻液及光阻剂剥膜液其中之一。
15.根据权利要求1所述的金属腐蚀抑制的方法，其特征在于，该含金属的基材浸泡于该反应溶液。
16.根据权利要求1所述的金属腐蚀抑制的方法，其特征在于，该反应溶液喷洒于该含金属的基材。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C22-00 表面与反应液反应、覆层中留存表面材料反应产物的金属材料表面化学处理，例如转化层、金属的钝化
C23C22-02 .使用非水溶液的
C23C22-05 .使用水溶液的
C23C22-70 .使用熔体
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