[发明专利]振动膜组装体的制造方法以及电容式传声器

说明书

技术领域

本发明涉及电容式传声器中所使用的振动膜组装体的制造方法，更具体而言，涉及一种即使为了提高电容式传声器的灵敏度而增加偏压也可以正常工作的振动膜组装体的制造方法、以及具有该振动膜组装体的电容式传声器。

背景技术

在电容式传声器中，将在一个面上具有金属蒸镀膜的树脂薄膜制振动膜架设在支承环(隔膜环)上，作成振动膜组装体，使该振动膜组装体与固定电极经由间隔件而对置配置，形成电容器，利用借助声波而振动的振动膜的变位所引起的静电电容变化，将声波变换为电信号。

对该变换器施加直流偏压(但是，振荡检波方式的传声器除外)。电容式传声器的灵敏度取决于偏压，可以通过增大偏压来提高灵敏度。

但是，由于在振动膜与固定电极之间在振动膜上作用静电吸引力，所以，如果施加稳定界限以上的偏压，则振动膜被吸引到固定电极侧，最终与固定电极接触，导致传声器无法工作。在该情况下，首先是振动膜的中央部分与固定电极接触，如果进一步升高偏压，则其接触范围会扩大至振动膜的边缘部分。

发明内容

因此，本发明的课题为，在电容式传声器中，得到一种即使升高偏压，振动膜也不会接触(吸附)到固定电极侧的振动膜组装体。而且提供一种可以为了得到良好的灵敏度而对变换器施加高偏压的电容式传声器。

为了解决上述课题，本发明提供一种振动膜组装体的制造方法，所述振动膜组装体用于电容式传声器，是将在一个面上具有金属蒸镀膜的树脂薄膜制振动膜安装在支承环上而成的，其特征在于，该振动膜组装体的制造方法包括：第一工序，在树脂薄膜上，在不对该树脂薄膜施加张力的情况下经由粘接剂粘接直径比上述支承环大的环状夹具，所述树脂薄膜在一个面上具有由延伸性金属材料构成的金属蒸镀膜；第二工序，对粘接在上述环状夹具上的上述树脂薄膜，在不施加张力的情况下以该薄膜材料的玻化温度以上的温度进行加热，使其收缩；和第三工序，在对上述树脂薄膜施加了规定张力的状态下，经由粘接剂在该树脂薄膜上粘接上述支承环，待到该粘接剂固化后，从上述树脂薄膜切出上述振动膜组装体。

由此，在第一工序中，在一个面上具有由延伸性金属材料构成的金属蒸镀膜的树脂薄膜上，在不对该树脂薄膜施加张力的情况下经由粘接剂粘接直径比支承环(隔膜环)大的环状夹具，之后，在第二工序中，对粘接在环状夹具上的树脂薄膜，在不施加张力的情况下以该薄膜材料的玻化温度以上的温度进行加热，使其收缩，由此，去除树脂薄膜的内部应力，在第三工序中，在对树脂薄膜施加了规定张力的状态下，经由粘接剂在该树脂薄膜上粘接支承环，等到该粘接剂固化后，从树脂薄膜切出振动膜组装体。在该振动膜组装体中，金属蒸镀膜因其延伸性，沿着施加张力的方向延伸产生了塑性变形，而相对于此，树脂薄膜中残留有由张力引起的内部应力，所以，振动膜以被施加了张力的状态支承在支承环上，所述张力使得金属蒸镀膜侧凸起。因此，通过将金属蒸镀膜作为与固定电极相反的一侧，而使振动膜组装体与固定电极对置，可以利用树脂薄膜中残留的内部应力，对抗振动膜组装体与固定电极之间产生的偏压所引起的静电吸引力。在将通过该制造方法制造的振动膜从支承环切离时，由于树脂薄膜中残留的内部应力，将会以下述方式变形：以金属蒸镀面为外侧变圆。

作为更优选的方案，其特征在于，在上述第三工序中，以规定的温度加热上述树脂薄膜。由此，在树脂薄膜中可以残留很大的由张力引起的内部应力。

本发明还包括具备通过上述制造方法制造的振动膜组装体的电容式传声器。即，本发明的电容式传声器包括变换器，该变换器通过经由间隔件对置地配置振动膜组装体与固定电极而构成，所述振动膜组装体是将振动膜架设在支承环上而成的，其特征在于，作为上述振动膜组装体，具备通过上述制造方法制造的振动膜组装体。

由此，通过将金属蒸镀膜作为与固定电极相反的一侧，而使振动膜组装体与固定电极对置，可以利用残留在树脂薄膜中的内部应力，对抗振动膜组装体与固定电极之间产生的偏压所引起的静电吸引力，由此，可提供一种即使施加更高的偏压，振动膜也能够正常工作、灵敏度高的电容式传声器。

附图说明

图1A～J是用于说明本发明的振动膜组装体的制造方法所包含的各工序的示意图。

图2A～C是用于说明上述各工序中树脂薄膜的转变状态的局部放大剖视图。

图3是表示本发明的电容式传声器所具备的变换器的一个例子的分解剖视图。

具体实施方式