[发明专利]基板清洗刷、和使用该刷的基板处理装置及基板处理方法有效
| 申请号： | 200610105801.X | 申请日： | 2006-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN1891355A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | 岩见优树;佐藤雅伸 | 申请（专利权）人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B11/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐恕 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基板清 洗刷 使用 处理 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
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