[发明专利]用于涂覆基板的蒸发器装置无效
| 申请号： | 200610106167.1 | 申请日： | 2006-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN1908224A | 公开（公告）日： | 2007-02-07 |
| 发明（设计）人： | 冈特·克莱姆;马库斯·本德;乌尔里克·恩格勒特;安德烈亚斯·克洛普尔;尤维·霍夫曼;汉斯－乔格·洛茨;斯蒂芬·海因;斯蒂芬·凯勒 | 申请（专利权）人： | 应用材料两合公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 王景刚;王冉 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 涂覆基板 蒸发器 装置 | ||
【说明书】：
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