[发明专利]混合型显影装置及显影方法无效
| 申请号： | 200610106169.0 | 申请日： | 2006-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN1900840A | 公开（公告）日： | 2007-01-24 |
| 发明（设计）人： | 寺冈努;板谷正彦;辛圭铁;佐佐木努;安明国;黑川尚德 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03G15/08 | 分类号： | G03G15/08 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平;杨梧 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 混合 显影 装置 方法 | ||
【说明书】：
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