[发明专利]钢瓶拆卸安全装置

说明书

技术领域

本发明有关一种安全装置，特别是一种应用于钢瓶拆卸的安全装置。

背景技术

气体的使用在半导体制程中一直扮演着重要的角色，其中离子布植、薄膜沉积等皆使用到相当多的气体，而气体的纯度则对组件性能、产品优良率有着决定性的影响。气体一般可简单的区分为大宗气体(BulkGases)，如N2、H2、O2、Ar等使用量较大的气体，和特殊气体(SpecialtyGases)，如SiH4、AsH3、PH3等以钢瓶供应的气体。

图1A是先前技术的气体钢瓶接合于制程设备前的示意图，一气体钢瓶10包括：一钢瓶主体12；一旋钮14；及一接头16，其中，钢瓶主体12储存制程需要使用的气体，旋钮14与位于气体钢瓶10内部的一钢瓶阀(图中未示)连接，当旋钮14旋紧时钢瓶阀关闭，气体密闭于钢瓶主体12以内，当旋钮14松开时钢瓶阀打开，气体可经由接头16输送至外界。

请再参考图1A，一进气导管22的一端固定并连通于一制程设备20，另一端则具有一固定件24可与接头16接合以连接并固定气体钢瓶10。图1B是先前技术的气体钢瓶已接合于制程设备的示意图，固定件24固定并连通接头16与进气导管22，此时若旋钮14松开则气体可经由接头16与进气导管22输送至制程设备20供其使用。

特殊气体钢瓶所承装的气体通常具有毒性、腐蚀性、或自燃性等特性，而气体供应的安全性则关系到人员的生命与健康以及厂房、设备运作的安全。

因为气体是生产制程的耗材，所以使用一段时间后需要更换气体钢瓶，其程序包括拆卸旧的气体钢瓶及安装新的气体钢瓶，在拆卸旧的气体钢瓶时常易发生人为疏失，亦即，在未关闭钢瓶阀的情况下即进行拆卸，则钢瓶内的残余气体将外泄而可能造成操作人员的伤害或火灾等公共危险。

因此，气体钢瓶的更换具有安全上的盲点：1.换装钢瓶时，操作人员的人为疏失无法控制；2.钢瓶是否先关闭钢瓶阀再松开接合接头与进气导管的固定件，目前并无法控制；3.操作人员未按照标准操作程序操作时无法制止。

发明内容

本发明的目的在于提供一种钢瓶拆卸安全装置，确保更换气体钢瓶时须先将钢瓶阀关闭，避免发生先前技术在未关闭钢瓶阀的情况下进行拆卸气体钢瓶，使残余气体外泄而造成操作人员伤害或火灾等公共危险的情况。

本发明的另一目的在于提供一种钢瓶拆卸安全装置，其作动具有下列特点：1.更换气体钢瓶时须先将钢瓶阀关闭；2.如未关闭气体钢瓶的钢瓶阀，钢瓶拆卸安全装置无法卸除；3.气体钢瓶的钢瓶阀关闭时，钢瓶拆卸安全装置会自动解除锁定并可予以卸除。

本发明的又一目的在于提供一种钢瓶拆卸安全装置，具有下列特点：1.换装气体钢瓶时，可百分之百确定钢瓶阀是否已关闭；2.钢瓶拆卸安全装置以气动方式作动；3.钢瓶拆卸安全装置的机械结构与操作步骤简单。

本发明的目的是这样实现的，一种钢瓶拆卸安全装置，包含：

一主体，该主体包含：一上件；一底件设置于该上件的下方；至少一用以枢接该上件与该底件的枢接件，且该上件与该底件可绕该枢接件转动与开阖；

一第一空间以包覆一固定件，该固定件用以固定并连通一气体钢瓶的一接头与一制程设备的一进气导管；

一活塞，设置于该主体内且可移动；

一引管用以引进与排出该主体的空气；

一套环连接于该主体外侧且其具有一中空部分；

其中，当空气经由该引管进入该主体后，该活塞会突出该主体之外并穿过该套环的该中空部分，使得该套环卡住该活塞而无法打开该主体的所述上件与底件，当空气经由该引管排出该主体后，该活塞的整体可移入该主体内且该主体的所述上件与该底件可自由开阖。

该主体具有一第二空间以容置与该固定件连接的部分进气导管。

该主体与该套环的材质分别为塑料或金属其中的至少任一种。

该套环连接于该主体的所述上件的外侧。

该主体的所述上件与该套环是以一体成型的方法所制作。

该套环连接于该主体的所述下件的外侧。

该主体的所述下件与该套环是以一体成型的方法所制作。

该枢接件为一铰链。

该活塞容置于主体的上件的内部。

该活塞容置于主体的下件的内部。

本发明的目的还可以这样实现的，一种钢瓶拆卸安全装置，包含：

一主体，该主体包含：一上件；一底件设置于该上件的下方；至少一枢接件用以枢接该上件与该底件，且该上件与该底件绕该枢接件转动与开阖；