[发明专利]高可靠性的射频发生器结构无效
| 申请号： | 200610109041.X | 申请日： | 2006-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN1905375A | 公开（公告）日： | 2007-01-31 |
| 发明（设计）人： | 亚伦·T·瑞多姆斯基;乔恩·士麦卡;丹尼尔·J·林肯;约根德拉·查拉;大卫·J·库姆;威帝姆·卢波莫斯基 | 申请（专利权）人： | MKS仪器有限公司 |
| 主分类号： | H04B1/02 | 分类号： | H04B1/02;H04B1/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王琦;王诚华 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 可靠性 射频 发生器 结构 | ||
【权利要求书】：
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