[发明专利]导体轨道装置及其制造方法有效
申请号: | 200610111057.4 | 申请日: | 2006-08-18 |
公开(公告)号: | CN1945823A | 公开(公告)日: | 2007-04-11 |
发明(设计)人: | Z·加布里克;W·帕姆勒;G·申德勒;A·施蒂克 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份公司 |
主分类号: | H01L23/522 | 分类号: | H01L23/522;H01L21/768;H01L21/764 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 刘春元;陈景峻 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导体 轨道 装置 及其 制造 方法 | ||
【说明书】:
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