[发明专利]用于形成功能性图案的感光性树脂组合物及功能性图案的形成方法有效
| 申请号： | 200610111146.9 | 申请日： | 2006-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN1912743A | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | 城山泰佑;田中幸彦;节田齐 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/033;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 楼仙英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 形成 功能 图案 感光性 树脂 组合 方法 | ||
【权利要求书】：
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