[发明专利]一种InGaP/AlGaInP晶体材料的腐蚀液无效
| 申请号： | 200610111351.5 | 申请日： | 2006-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN1916240A | 公开（公告）日： | 2007-02-21 |
| 发明（设计）人： | 张晶;高欣;李辉;曲轶;刘国军;薄报学 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | C23F1/30 | 分类号： | C23F1/30;C09K13/04;H01L21/306 |
| 代理公司： | 中国兵器工业集团公司专利中心 | 代理人： | 曲博 |
| 地址： | 130022吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 ingap algainp 晶体 材料 腐蚀 | ||
【说明书】：
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