[发明专利]一种大行程精密工件台装置与驱动方法无效
申请号: | 200610111625.0 | 申请日: | 2006-08-18 |
公开(公告)号: | CN1956106A | 公开(公告)日: | 2007-05-02 |
发明(设计)人: | 许宏 | 申请(专利权)人: | 许宏 |
主分类号: | G12B9/10 | 分类号: | G12B9/10;G12B5/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310018浙江省杭州市下*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 行程 精密 工件 装置 驱动 方法 | ||
【说明书】:
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