[发明专利]半导体组件保护结构及其制造方法无效
申请号: | 200610111709.4 | 申请日: | 2006-08-24 |
公开(公告)号: | CN101131967A | 公开(公告)日: | 2008-02-27 |
发明(设计)人: | 杨文焜;林志伟;张瑞贤 | 申请(专利权)人: | 育霈科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/00 | 分类号: | H01L23/00;H01L23/488;H01L23/498;H01L21/50;H01L21/60 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 何文彬 |
地址: | 台湾省新竹县湖*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 组件 保护 结构 及其 制造 方法 | ||
1.一种半导体组件保护结构,主要包括芯片、基板、保护薄膜、焊锡球及电性接触片,其特征在于,所述芯片,在其上表面具有复数个电性接触片;
复数个导电球,连接至该电性接触片;
所述基板,附着至该芯片下表面之上;
还包括一缓冲层,形成于该基板之上,并且邻接该芯片;以及
第二缓冲层,其中该基板是结合于该第二缓冲层之上,使得该第二缓冲层包围整个基板,藉以降低当该基板的侧边受到一外力时对该基板的损害。
2.按照权利要求1所述的半导体组件保护结构,其特征在于:所述该基板包含倾斜的侧壁开孔形成于其中,所述的第二缓冲层填入该倾斜的侧壁开孔之中,其中所述倾斜的侧壁开孔的深度略小于该基板的厚度。
3.按照权利要求1所述的半导体组件保护结构,其特征在于:还包含一保护层覆盖该电性接触片并露出该电性接触片,以利于该复数个导电球电性连接至一外部部件,其中该保护层之材料系包含硅橡胶、BCB、硅氧烷聚合物、环氧树脂、聚亚酰胺或树脂。
4.按照权利要求1所述的半导体组件保护结构,其特征在于:基板包含硅、玻璃、合金42、石英、陶瓷、印刷电路板或软质基板。
5.按照权利要求1所述的半导体组件保护结构,其特征在于:所述该第一缓冲层与第二缓冲层的材料包含硅橡胶、BCB、硅氧烷聚合物、环氧树脂、聚亚酰胺或树脂。
6.一种半导体组件保护结构,主要包括芯片、基板、保护薄膜、焊锡球及电性接触片,其特征在于,
所述芯片,具有复数个电性接触片于该芯片的上表面之上;
复数个导电球,连接至该电性接触片;
所述基板,附着至该芯片的下表面之上;以及
还包括缓冲层,其中该基板是结合于该缓冲层之上,使得该缓冲层包围整个该基板,藉以降低当该基板之侧边受到一外力时对该基板之损害。
7.按照权利要求6所述的半导体组件保护结构,其特征在于:所述基板包含复数个侧壁开孔形成于其中,所述缓冲层填入该复数个侧壁开孔之中,以及其中所述侧壁开孔的深度略小于该基板的厚度。
8.按照权利要求6所述的半导体组件保护结构,其特征在于:还包含一保护层覆盖该电性接触片并露出该电性接触片,以利于该复数个导电球电性连接至一外部部件,其中该保护层之材料系包含硅橡胶、BCB、硅氧烷聚合物、环氧树脂、聚亚酰胺或树脂。
9.按照权利要求6所述的半导体组件保护结构,其特征在于:所述该基板包含硅、玻璃、合金42、石英、陶瓷、印刷电路板或软质基板。
10.按照权利要求6所述的半导体组件保护结构,其特征在于:其中所述缓冲层的材料包含硅橡胶、BCB、硅氧烷聚合物、环氧树脂、聚亚酰胺或树脂。
11.一种半导体组件保护结构的制造方法,其特征在于:按照如下步骤操作:
提供复数个芯片,该芯片具有复数个导电球形成于其上;
附着该复数个芯片于一基板之上;
形成一第一缓冲层在该基板之上,以及邻接该芯片,以露出复数个导电球;
移除部分该基板以形成复数个开孔约略对准该第一缓冲层;以及
形成一第二缓冲层于该基板之上,并且填满该复数个开孔。
12.按照权利要求11所述的半导体组件保护结构的制备方法,其特征在于:还包含沿着该开孔的大致中心处切割或刻蚀该基板的一项步骤,而成为复数个个别的半导体组件保护结构。
13.按照权利要求11所述的半导体组件保护结构的制备方法,其特征在于:该方法开孔包含倾斜的侧壁开孔,其中该倾斜的侧壁开孔之一深度略小于该基板之厚度。
14.一种半导体组件保护结构的制造方法,其特征在于:按照如下步骤操作:
提供一基板具有复数个芯片,该芯片具有复数个导电球形成于其上;
移除部分该基板之背面,以形成复数个开孔;以及
形成一缓冲层于该基板之上,并且填满于该复数个开孔之中。
15.按照权利要求14所述的半导体组件保护结构的制造方法,其特征在于:还包含沿着该开孔之大致中心切割或刻蚀该基板的这一步骤,而成为复数个个别的半导体组件保护结构。
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