[发明专利]用于蚀刻玻璃衬底的设备无效
| 申请号： | 200610112138.6 | 申请日： | 2006-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN1955132A | 公开（公告）日： | 2007-05-02 |
| 发明（设计）人： | 李起元;崔承珠;姜明元;成珖柱 | 申请（专利权）人： | 智圆技术株式会社 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 韩国425－100京畿道安山市*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 蚀刻 玻璃 衬底 设备 | ||
【说明书】：
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