[发明专利]透明导电性层叠体及备有其的触摸屏

说明书

技术领域

本发明涉及具有可见光区透明性且在膜基材上备有导电性薄膜的透明导电性层叠体，及备有其的触摸屏。本发明的透明导电性层叠体除了用于液晶显示、电致发光显示等显示方式和触摸屏的透明电极之外，还可用于透明物品的防静电和电磁波屏蔽等方面。

背景技术

按照位置检出的方法，触摸屏有光学方式、超声波方式、静电容量方式、阻抗膜方式等。其中，由于阻抗膜方式的结构简单，价格性能比优异，近年来已经飞速普及。阻抗膜方式的触摸屏已经在例如，银行的自动取款机(ATM)和交通部门的售票机等的显示板中使用。

此阻抗膜方式的触摸屏具有把透明导电性层叠体与带有透明导电性薄膜的玻璃通过隔片对向配置、电流流过透明导电性层叠体而测量带有透明导电性薄膜的玻璃上的电压的结构。通过由手指或笔等按压透明导电性层叠体的操作使其与带有透明导电性薄膜的玻璃接触，该接触部分通电，就可以感知该接触部分的位置。

然而，近年来，随着搭载于智能电话、PDA(Personal Digital Assistance)、游戏机等中的触摸屏的市场的扩展，触摸屏已经进入了窄边框化。为此，必需要进一步提高触摸屏的周边部分附近的笔输入耐久性。

作为所述的触摸屏，已经公开的是一种例如，在透明膜基材膜的至少一面上备有透明导电性膜的触摸屏，所述透明导电性膜设有由至少含有平均粒径1～30nm的微粒的树脂所形成的且具有中心线平均粗糙度Ra为4～20nm的锚层、SiO_x层、透明导电层(参见特开2002-117724号公报)。然而，这样的构成存在着透明导电层的表面电阻值变化，缺乏可靠性的问题。

还有，作为所述的触摸屏，已经公开的是一种例如，备有基材、依次层叠了用于固定导电层的锚层、导电层的透明导电性薄膜的触摸屏(参见特开2003-320609号公报)。据此特开2003-320609号公报，锚层是用等离子体化学气相沉积(CVD)法所形成的二氧化硅层。然而，在特开2003-320609号公报中所述的发明，虽然记载了笔输入触摸屏那样的可以承受大的滑动的施加，但并没有考虑在触摸屏的周边部分的笔输入的耐久性，在此周边部分存在着笔输入耐久性差的问题。

发明内容

本发明是基于上述问题而做出的，其目的在于提供一种在周边部分附近笔输入耐久性优异、且抑制了透明导电层的表面电阻变化的可靠性良好的透明导电性层叠体，及备有其的触摸屏。

本专利申请的发明人等为了解决上述以往问题，对透明导电性层叠体及备有其的触摸屏进行了精心研究，结果发现通过采用下述构成就可以达到上述目的，从而完成了本发明。

即，为了解决上述问题，本发明涉及的透明导电性层叠体的特征在于，它具有透明的膜基材、在所述膜基材的一面用干法工艺设置的厚度1～30nm而相对折射率为1.6～1.9的SiO_x膜(x大于等于1.5而小于2)、在所述SiO_x膜上设置的厚度为10～50nm的SiO₂膜和在所述SiO₂膜上设置的厚度为20～35nm的透明导电性薄膜。

在所述透明导电性层叠体中，优选的是，在所述膜基材的至少一面上设置有树脂层。

还有，在所述透明导电性层叠体中，优选的是，在所述膜基材的反面，通过透明的粘合剂层，贴合上透明基体。

还有，在所述透明导电性层叠体中，优选的是，所述导电性薄膜含有结晶粒径200nm或更小、结晶含量超过50％的结晶物质铟锡氧化物。

还有，在所述透明导电性层叠体中，优选的是，所述的层叠有导电性薄膜侧的弹性模量在8GPa或更高。

还有，在所述透明导电性层叠体中，优选的是，所述的层叠有导电性薄膜侧的硬度在2GPa或更高。

为了解决上述问题，本发明涉及的触摸屏的特征在于它配备有上述的透明导电性层叠体。

本发明通过上述说明的方式，达到了下述效果。

即，本发明的透明导电性层叠体，由于是采用了在膜基材上依次层叠SiO_x膜、SiO₂膜和透明的导电性薄膜的结构，而且SiO_x膜的相对折射率在1.6～1.9范围，因此，例如在把透明导电性层叠体适用于触摸屏中时，可以使其周边部分附近的笔输入耐久性比以往使用的有更大提高。

还有，由于在膜基材与SiO₂膜之间设置了SiO_x膜，可以抑制导电性薄膜的表面电阻的变化率，得到了稳定性优异的透明导电性层叠体。