[发明专利]用于对称和/或同心的射频匹配网络的方法和设备有效
| 申请号： | 200610112258.6 | 申请日： | 2006-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN1925322A | 公开（公告）日： | 2007-03-07 |
| 发明（设计）人： | 卡尔·A·索伦森;约翰·M·怀特 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H7/38 | 分类号： | H03H7/38;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 对称 同心 射频 匹配 网络 方法 设备 | ||
【说明书】：
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