[发明专利]电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置有效
| 申请号： | 200610112658.7 | 申请日： | 2006-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN101136279A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 宋巧丽;南建辉 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01F5/00 | 分类号： | H01F5/00;H01F38/14;H05H1/46;H05H1/50;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵镇勇;王连军 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 线圈 等离子体 装置 | ||
1.一种电感耦合线圈，其特征在于，包括内部线圈和外部线圈，内部线圈与外部线圈相互独立且同轴线布置；
所述内部线圈由多个结构相同的内独立分支嵌套构成，所述多个内独立分支相对轴线中心对称布置；
所述外部线圈由多个结构相同的外独立分支嵌套构成，所述多个外独立分支相对轴线中心对称布置。
2.根据权利要求1所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述的内部线圈和/或外部线圈为立体结构或平面结构或平面与立体组合结构。
3.根据权利要求2所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述的内部线圈和/或外部线圈的平面部分为螺旋线或阿基米德螺旋线或渐开线或涡状线。
4.根据权利要求2所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述的内部线圈和/或外部线圈的立体部分沿轴线螺旋上升。
5.根据权利要求1至4任一项所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述的内部线圈包括两个内独立分支；所述的外部线圈包括两个外独立分支。
6.一种应用上述电感耦合线圈的电感耦合等离子体装置，包括反应室，反应室上部设有介电窗，其特征在于，所述的介电窗的上部设有电感耦合线圈，电感耦合线圈通过匹配器与射频RF源连接。
7.根据权利要求6所述的电感耦合等离子体装置，其特征在于，所述电感耦合线圈的内部线圈与外部线圈相互并联连接后与匹配器连接。
8.根据权利要求6所述的电感耦合等离子体装置，其特征在于，所述电感耦合线圈的内部线圈及外部线圈分别与匹配器连接。
9.根据权利要求7或8所述的电感耦合等离子体装置，其特征在于，所述内部线圈的多个内独立分支并联连接，并联后的输入端串联有可变电容，输出端通过接地电容接地；所述外部线圈的多个外独立分支并联连接，并联后的输入端串联有可变电容，输出端通过接地电容接地。
10.根据权利要求7或8所述的电感耦合等离子体装置，其特征在于，所述内部线圈的多个内独立分支和/或外部线圈的多个外独立分支的输入端分别串联有可变电容，之后并联连接；输出端通过接地电容接地。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200610112658.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：由乙酸乙酯工业残渣制聚合氯化铝的方法
- 下一篇：激光打印机用碳粉盒
