[发明专利]气体分离装置无效
| 申请号： | 200610113103.4 | 申请日： | 2006-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN101144163A | 公开（公告）日： | 2008-03-19 |
| 发明（设计）人： | 林盛 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C23F1/12 | 分类号： | C23F1/12;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵镇勇;王连军 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体 分离 装置 | ||
1.一种气体分离装置，用于向反应腔室供工艺气体，设于反应腔室的介质窗体上，其特征在于，所述的气体分离装置包括上盖、下盖，所述的上盖与下盖构成封闭空间，上盖上设有进气口，下盖上设有多个出气口。
2.根据权利要求1所述的气体分离装置，其特征在于， 所述的上盖为介质窗体，介质窗体与下盖构成封闭空间；所述进气口设于介质窗体上并与封闭空间相通。
3.根据权利要求2所述的气体分离装置，其特征在于，所述介质窗体的下表面设有凹槽，所述进气口与凹槽相通；所述的下盖紧贴介质窗体的下表面，并使所述的凹槽形成封闭空间。
4.根据权利要求1、2或3任一项所述的气体分离装置，其特征在于，所述的上盖与下盖的连接处设有密封装置。
5.根据权利要求1所述的气体分离装置，其特征在于，所述的气体分离装置为整体结构，其间设有封闭空间，所述的上盖即为封闭空间的上壁，所述下盖即为封闭空间的下壁。
6.根据权利要求5所述的气体分离装置，其特征在于，所述的整体结构的气体分离装置为介质窗体。
7.根据权利要求1、2、3、5或6任一项所述的气体分离装置，其特征在于，所述的出气口与下盖平面的夹角为10°～90°，并可朝向四周的任何一个方向。
8.根据权利要求1、2、3、5或6任一项所述的气体分离装置，其特征在于，所述的出气口在下盖上均匀分布。
9.根据权利要求1、2、3、5或6任一项所述的气体分离装置，其特征在于，所述的出气口在下盖上的分布密度自下盖中心至边缘逐渐增加。
10.根据权利要求1、2、3、5或6任一项所述的气体分离装置，其特征在于，所述的出气口的横截面的形状为圆形、椭圆形、或多边形。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200610113103.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：微波炉磁控管的铜垫圈结构
- 下一篇：一种预防和治疗奶牛产后疾病的药物
