[发明专利]一种制备多级硅纳米器件的方法无效
| 申请号： | 200610113196.0 | 申请日： | 2006-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN1919720A | 公开（公告）日： | 2007-02-28 |
| 发明（设计）人： | 张锦;张莹莹;刘忠范;罗刚 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;H01L21/00;H01L21/30;H01L21/205 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 关畅;任凤华 |
| 地址： | 100871北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 多级 纳米 器件 方法 | ||
【权利要求书】：
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