[发明专利]一种陶瓷零件表面的清洗方法有效

专利信息
申请号: 200610113455.X 申请日: 2006-09-28
公开(公告)号: CN101152651A 公开(公告)日: 2008-04-02
发明(设计)人: 陶林 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B3/12;B08B7/04;B08B1/00;B08B3/02;C04B35/64;F26B5/00;C11D7/50;C11D7/06;C11D7/08
代理公司: 北京凯特来知识产权代理有限公司 代理人: 郑立明
地址: 100016北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 陶瓷 零件 表面 清洗 方法
【权利要求书】:

1.一种陶瓷零件表面的清洗方法,其特征在于,包括以下步骤:

A、用有机溶剂清洗零件表面;

B、用碱性溶液清洗零件表面;

C、将零件放入超声槽中,清洗设定的时间。

2.根据权利要求1所述的阳极氧化零件表面的清洗方法,其特征在于,所述的方法在步骤B后还包括:

D、用酸性溶液清洗零件表面;和/或,

E、将零件放入高温烧结炉中进行煅烧处理。

3.根据权利要求1所述的阳极氧化零件表面的清洗方法,其特征在于,所述的步骤A包括:

A1、用有机溶剂擦拭零件,直至无带色的杂质脱落;和/或,

A2、用有机溶剂浸泡零件设定的浸泡时间,再用洁净的擦拭物擦拭零件,直至无带色的杂质脱落。

4.根据权利要求1、2或3所述的阳极氧化零件表面的清洗方法,其特征在于,所述的步骤A还包括:

在用有机溶剂清洗前,用超纯水冲洗零件表面设定的冲洗时间,并用洁净的擦拭物擦拭零件,直至无带色的杂质脱落;

和/或,

在用有机溶剂擦拭和/或浸泡清洗后,用超纯水冲洗零件表面设定的冲洗时间,并用洁净的高压气体吹干零件的表面。

5.根据权利要求1所述的阳极氧化零件表面的清洗方法,其特征在于,所述的步骤B包括:

B1、用碱性溶液浸泡零件设定的清洗时间。

6.根据权利要求2所述的阳极氧化零件表面的清洗方法,其特征在于,所述的步骤D包括:

D1、用酸性溶液擦拭零件,不超过设定的擦拭时间。

7.根据权利要求5或6所述的阳极氧化零件表面的清洗方法,其特征在于,所述的步骤B1或D1浸泡零件清洗后还包括:

F、用洁净的擦拭物擦拭零件,直至无带色的杂质脱落;和/或,

G、用超纯水冲洗零件表面设定的冲洗时间,并用洁净的高压气体吹干零件的表面。

8.根据权利要求1所述的阳极氧化零件表面的清洗方法,其特征在于:

所述的有机溶剂为:

异丙醇或丙酮,且所述的异丙醇或丙酮满足电子纯级别要求;

所述的碱性溶液为:

NH4OH∶H2O2∶H2O为1~4∶0.5~3∶1-10;

所述的酸性溶液为:

HNO3∶HF∶H2O为1~5∶0.5~2∶1-10。

9.根据权利要求2所述的阳极氧化零件表面的清洗方法,其特征在于,所述的步骤E的煅烧处理过程包括:

放入高温烧结炉中,从室温加热到600~1000℃,在此温度烘烤0.5~1.5小时,然后降到50-60℃,取出零部件。

10.根据权利要求1或2所述的阳极氧化零件表面的清洗方法,其特征在于,所述的方法最后包括:

用超纯水冲洗零件表面设定的冲洗时间,并用洁净的高压气体吹干零件的表面;再用用洁净的擦拭物擦拭零件。

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