[发明专利]一种陶瓷零件表面的清洗方法有效
申请号: | 200610113455.X | 申请日: | 2006-09-28 |
公开(公告)号: | CN101152651A | 公开(公告)日: | 2008-04-02 |
发明(设计)人: | 陶林 | 申请(专利权)人: | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B3/12;B08B7/04;B08B1/00;B08B3/02;C04B35/64;F26B5/00;C11D7/50;C11D7/06;C11D7/08 |
代理公司: | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人: | 郑立明 |
地址: | 100016北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 陶瓷 零件 表面 清洗 方法 | ||
1.一种陶瓷零件表面的清洗方法,其特征在于,包括以下步骤:
A、用有机溶剂清洗零件表面;
B、用碱性溶液清洗零件表面;
C、将零件放入超声槽中,清洗设定的时间。
2.根据权利要求1所述的阳极氧化零件表面的清洗方法,其特征在于,所述的方法在步骤B后还包括:
D、用酸性溶液清洗零件表面;和/或,
E、将零件放入高温烧结炉中进行煅烧处理。
3.根据权利要求1所述的阳极氧化零件表面的清洗方法,其特征在于,所述的步骤A包括:
A1、用有机溶剂擦拭零件,直至无带色的杂质脱落;和/或,
A2、用有机溶剂浸泡零件设定的浸泡时间,再用洁净的擦拭物擦拭零件,直至无带色的杂质脱落。
4.根据权利要求1、2或3所述的阳极氧化零件表面的清洗方法,其特征在于,所述的步骤A还包括:
在用有机溶剂清洗前,用超纯水冲洗零件表面设定的冲洗时间,并用洁净的擦拭物擦拭零件,直至无带色的杂质脱落;
和/或,
在用有机溶剂擦拭和/或浸泡清洗后,用超纯水冲洗零件表面设定的冲洗时间,并用洁净的高压气体吹干零件的表面。
5.根据权利要求1所述的阳极氧化零件表面的清洗方法,其特征在于,所述的步骤B包括:
B1、用碱性溶液浸泡零件设定的清洗时间。
6.根据权利要求2所述的阳极氧化零件表面的清洗方法,其特征在于,所述的步骤D包括:
D1、用酸性溶液擦拭零件,不超过设定的擦拭时间。
7.根据权利要求5或6所述的阳极氧化零件表面的清洗方法,其特征在于,所述的步骤B1或D1浸泡零件清洗后还包括:
F、用洁净的擦拭物擦拭零件,直至无带色的杂质脱落;和/或,
G、用超纯水冲洗零件表面设定的冲洗时间,并用洁净的高压气体吹干零件的表面。
8.根据权利要求1所述的阳极氧化零件表面的清洗方法,其特征在于:
所述的有机溶剂为:
异丙醇或丙酮,且所述的异丙醇或丙酮满足电子纯级别要求;
所述的碱性溶液为:
NH4OH∶H2O2∶H2O为1~4∶0.5~3∶1-10;
所述的酸性溶液为:
HNO3∶HF∶H2O为1~5∶0.5~2∶1-10。
9.根据权利要求2所述的阳极氧化零件表面的清洗方法,其特征在于,所述的步骤E的煅烧处理过程包括:
放入高温烧结炉中,从室温加热到600~1000℃,在此温度烘烤0.5~1.5小时,然后降到50-60℃,取出零部件。
10.根据权利要求1或2所述的阳极氧化零件表面的清洗方法,其特征在于,所述的方法最后包括:
用超纯水冲洗零件表面设定的冲洗时间,并用洁净的高压气体吹干零件的表面;再用用洁净的擦拭物擦拭零件。
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