[发明专利]一种耐活性氧腐蚀的新型高效衬底加热装置无效
| 申请号： | 200610113604.2 | 申请日： | 2006-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN1932073A | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | 李含冬;杜小龙;梅增霞;曾兆权;袁洪涛;王喜娜;董靖;张天冲;薛其坤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/46 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 活性氧 腐蚀 新型 高效 衬底 加热 装置 | ||
【说明书】：
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