[发明专利]一种功能梯度结构的压电驱动器件及其制备方法无效
| 申请号： | 200610114005.2 | 申请日： | 2006-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN1945869A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 张海龙;张波萍;王丹 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/18;H01L41/22;H02N2/00 |
| 代理公司： | 北京科大华谊专利代理事务所 | 代理人： | 刘月娥 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 功能 梯度 结构 压电 驱动 器件 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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