[发明专利]微区稳态/瞬态光电检测与扫描成像的近场光学显微镜系统

权利要求书

1.一种微区稳态/瞬态光电检测与扫描成像的近场光学显微镜系统，其特征是，所述的系统的结构是：

一连续激光器或纳秒脉冲激光器的激光出口前方安装有斩波器以及在斩波器后面安装有激光耦合与光纤系统，或单独安装激光耦合与光纤系统；在激光耦合与光纤系统的后面安装带有CCD图像采集器、白光光源、Z向步进电机、探针位置传感器、显微物镜和与悬臂位置监测用红外激光器相连接的激光耦合与光纤系统的共聚焦光学显微镜；

在共聚焦光学显微镜上的显微物镜上有一通过固定架固定的探针固定与三维调整支架；一扫描近场光学显微镜探针固定在探针固定与三维调整支架上，且扫描近场光学显微镜探针在共聚焦光学显微镜上的显微物镜的正下方；

一高精度XYZ扫描台，在高精度XYZ扫描台里安装有显微物镜，且该显微物镜是安装在扫描近场光学显微镜探针下方的垂直方向上；一三维步进电机与该显微物镜连接；在该显微物镜下方的光路上安装有全反镜，全反镜与一换向电机连接；在全反镜下方的光路上安装有光探测器；

一CCD图像采集器安装在全反镜的反射光的光路上；

在高精度XYZ扫描台上有用于固定样品的导电的固定夹；

一锁相放大器或快速门积分与矩形波串平均器通过导线与斩波器或纳秒脉冲激光器连接，高精度XYZ扫描台上的导电的固定夹、扫描近场光学显微镜探针、计算机控制与数据采集系统分别与锁相放大器或快速门积分与矩形波串平均器连接；

所述的共聚焦光学显微镜上的CCD图像采集器、全反镜的反射光光路上的CCD图像采集器、换向电机通过导线与计算机控制与数据采集系统相连；

所述的Z向步进电机、探针位置传感器、探针固定与三维调整支架、高精度XYZ扫描台以及光探测器通过导线与扫描近场光学显微镜控制机箱相连；

所述的扫描近场光学显微镜控制机箱与计算机控制与数据采集系统通过导线相连。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征是：所述的扫描近场光学显微镜探针由硅悬臂与镀有铝膜、中空的二氧化硅小孔针尖构成。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征是：所述的镀有铝膜、中空的二氧化硅小孔针尖的铝膜层上镀有金膜，金膜厚度为4～6nm厚。

4.根据权利要求1、2或3所述的系统，其特征是：所述的探针的小孔直径为50nm。

5.根据权利要求3所述的系统，其特征是：所述的镀有金膜、中空的二氧化硅小孔针尖上镀有一层3～5nm厚的铝膜。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征是：所述的探针的小孔直径为50nm。