[发明专利]金属靶材与靶托的连接方法

权利要求书

1.一种金属靶材与靶托的连接方法，其特征是：包括如下步骤：(1)对靶材、靶托的结合部位分别加工出对应的凸台和凹槽；(2)清洗干净靶材和靶托表面，并吹干；(3)加热靶托到高于钎焊料的液相线10～50℃；，(4)在靶托的凹面内均匀涂敷上钎焊料；(5)靶材从靶托一侧沿着凹槽逐渐挤进靶托内，并在轴向施加压力，使得靶材和靶托紧密配合；(6)在挤压过程中，靶托槽内的钎焊料熔化流动时充填接合面的各部位，将残存的空气排除。

2.根据权利要求1所述的金属靶材与靶托的连接方法，其特征还在于：步骤(1)靶材与靶托对应的形状为梯形或燕尾形，其接触侧面与水平面的倾斜角(α)为65°～80°。

3.根据权利要求1所述的金属靶材与靶托的连接方法，其特征还在于：凸台和凹槽的数量为3～6个，等距离分布在靶材和靶托上，凸台和凹槽的高度(H)为2～5mm。

4.根据权利要求1所述的金属靶材与靶托的连接方法，其特征还在于：步骤(4)中涂敷钎焊料的厚度为0.1mm～0.5mm。

5.根据权利要求1所述的金属靶材与靶托的连接方法，其特征还在于：步骤(5)中所施加的轴向压力为3MPa～100MPa。

6.根据权利要求1所述的金属靶材与靶托的连接方法，其特征还在于：靶材主要包括Al、Al-Si、Al-Cu、Al-Si-Cu靶材，所对应的靶托为Al合金和Cu靶托。

7.根据权利要求1所述的金属靶材与靶托的连接方法，其特征还在于：靶材还包括Ti、Ti-W、Ta、Ta-Si靶材，对应的靶托为无氧铜、黄铜、Al合金和Ti合金靶托。

8.根据权利要求1所述的一种金属靶材与靶托的连接方法，其特征还在于：所用钎焊料主要包括纯铟、铟合金、锡铜、锌锡、锡银铜钎焊料。