[发明专利]检测键合质量的红外透视成像装置及调节方法

权利要求书

1.一种检测键合质量的红外透视成像装置，其特征在于，包括如下几个部分：

一灯箱，该灯箱为黑色，该灯箱前端开有一出光孔；

一导轨，该导轨位于灯箱上的出光孔的前端，在该导轨上依次排列有第一凸透镜、小孔光阑、第二凸透镜、样品架及红外摄像头；

一监视器，该监视器通过数据线与红外摄像头连接。

2.根据权利要求1所述的检测键合质量的红外透视成像装置，其特征在于：其中灯箱包括：一光源；一喇叭状灯罩，该反射灯罩位于该光源的一侧。

3.根据权利要求2所述的检测键合质量的红外透视成像装置，其特征在于：其中该光源为白炽灯。

4.根据权利要求1所述的检测键合质量的红外透视成像装置，其特征在于：其中小孔光阑的通光孔的孔径为1-2mm。

5.一种检测键合质量的红外透视成像装置的调节方法，其是采用权利要求1所述的成像装置，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1：调节摄像头及监视器，使之形成成像状态；

步骤2：调节导轨上的依次排列的第一凸透镜、小孔光阑、第二凸透镜、样品架及红外摄像头，使之处于与灯箱上的出光孔相同高度。

步骤3：调节第一凸透镜和小孔光阑的位置，使清晰的灯丝图像穿过小孔光阑，然后调节第二凸透镜，使射出的圆形光斑打在样品架上的样品表面；

步骤4：最后调节摄像头与样品架上的样品之间的距离，使成像最清晰，成像结果可直接由监视器显示。