[发明专利]基板处理装置、涂敷装置及涂敷方法无效
| 申请号： | 200610115921.8 | 申请日： | 2004-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN1939601A | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | 元村秀峰 | 申请（专利权）人： | HOYA株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;G03F1/00;G03F7/20;G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
【说明书】：
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