[发明专利]薄膜体声谐振器及其制造方法无效
| 申请号： | 200610115959.5 | 申请日： | 2006-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN1929302A | 公开（公告）日： | 2007-03-14 |
| 发明（设计）人： | 罇贵子;柴田浩延 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H3/02;H01L41/00;H01L41/08 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 杨晓光;李峥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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