[发明专利]半导体器件及其制造方法无效
| 申请号： | 200610115987.7 | 申请日： | 2006-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN1929124A | 公开（公告）日： | 2007-03-14 |
| 发明（设计）人： | 鸟居克裕;松尾修志 | 申请（专利权）人： | 株式会社瑞萨科技 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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