[发明专利]优化探针台扎针次数的方法有效
| 申请号： | 200610116403.8 | 申请日： | 2006-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN101149413A | 公开（公告）日： | 2008-03-26 |
| 发明（设计）人： | 杜发魁;桑浚之;惠力荪 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾继光 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 优化 探针 扎针 次数 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种优化探针台扎针次数的方法，其特征在于：首先，对被测晶园进行芯片分布取样，然后，根据晶园图形和探针卡形状的具体情况，对所有可能的步进路线进行穷举计算，得到所有可能路线的扎针次数，并同时记录所有可能路线的起始位置和步进路线，从所有结果中选取最少的扎针次数进行起始位置和行进路线的指定。
2.如权利要求1中所述的优化探针台扎针次数的方法其特征在于：同测探针卡形状为长方形，同测方式为：1x(2/4/6/8/16)、2x(2/4/6/8/16)、4x(2/4/6/8/16)、8x(2/4/6/8/16)或16x(2/4/6/8/16)。
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