[发明专利]移相光栅标记及利用该标记检测光刻机成像质量的方法有效
| 申请号： | 200610116544.X | 申请日： | 2006-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN1928721A | 公开（公告）日： | 2007-03-14 |
| 发明（设计）人： | 马明英;王向朝;王帆 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光栅 标记 利用 检测 光刻 成像 质量 方法 | ||
【说明书】：
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