[发明专利]单片双芯或多芯半导体激光气体传感器、制作及使用方法有效
| 申请号： | 200610117006.2 | 申请日： | 2006-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN1945284A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 张永刚;李爱珍;齐鸣;封松林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25;H01S5/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单片 半导体 激光 气体 传感器 制作 使用方法 | ||
【说明书】：
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