[发明专利]金属有机物化学气相沉积设备反应腔的加热系统

权利要求书

1.一种金属有机物化学气相沉积设备反应腔的加热系统，主要包括：反应气体A进气管道(1)，反应气体B进气管道(2)，反应气体A预加热石墨圆片(13)，石墨舟(11)，基座(4)，石英罩(9)，高频感应加热器(10)，石英罩(9)中心的通气管(8)，冷却介质排气管(6)，反应室(5)，其特征在于所述反应气体A进气管道(1)、气体B进气管道(2)设置于加热系统顶部，反应气体B进气管道末端设有缓冲腔(12)、缓冲腔(12)的底部设有喷淋口(3)，喷淋口(3)的下方为基座(4)，喷淋口(3)与基座(4)之间形成一个反应室(5)，基座(4)的内层为石英罩(9)，石英罩(9)与基座(4)之间形成一个空腔，空腔通过石英罩的中心管(8)和排气管(6)与外界冷却源连接，石英罩内装有高频感应加热器(10)，石墨舟(11)和反应气体A预加热石墨圆片(13)直接嵌套在基座(4)上，石墨圆片(13)设于气体A的出口处，对气体A进行预裂解。

2.根据权利要求1所述的一种金属有机物化学气相沉积设备反应腔的加热系统，其特征在于所述基座(4)采用高温时低热导率的材料氮化硼、熔凝石英、氨化铝或陶瓷材料制成。

3.根据权利要求1所述的一种金属有机物化学气相沉积设备反应腔的加热系统，其特征在于所述石英罩(9)采用高温时低导热率的材料氮化硼、熔凝石英、氨化铝或陶瓷材料制成。

4.根据权利要求1所述的一种金属有机物化学气相沉积设备反应腔的加热系统，其特征在于所述反应气体A预加热石墨圆片(13)采用高热导率耐高温的材料制成。