[发明专利]一种原位表征金属薄膜氧化反应动力学规律的方法无效
申请号: | 200610119292.6 | 申请日: | 2006-12-07 |
公开(公告)号: | CN1971262A | 公开(公告)日: | 2007-05-30 |
发明(设计)人: | 蒋益明;罗宇峰;钟澄;李劲 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | G01N27/16 | 分类号: | G01N27/16;G01N31/00 |
代理公司: | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人: | 陆飞;盛志范 |
地址: | 20043*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 原位 表征 金属 薄膜 氧化 反应 动力学 规律 方法 | ||
【说明书】:
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