[发明专利]一种电感耦合溅射制备稳定空穴型氧化锌薄膜的方法无效
| 申请号： | 200610119424.5 | 申请日： | 2006-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN101135044A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 张华伟;施尔畏;陈之战 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;C23C14/54;C23C14/58 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 20005*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电感 耦合 溅射 制备 稳定 空穴 氧化锌 薄膜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种电感耦合溅射制备稳定空穴型氧化锌薄膜的方法，包括下述步骤：
(1)以致密的高纯氧化锌作为靶材；
(2)清洗衬底，除去表面的油脂和污物；
(3)将靶材和衬底分别放入溅射室特定位置，抽真空并加热衬底并使其恒温在400～500℃间某个值，通入工作气体氩气和氮气；
(4)开启溅射射频电源，调节其功率为100～300W，开启电感耦合射频源，使其功率处于30～50W，打开衬底挡板开始镀膜；
(5)镀膜完毕，从溅射室取出薄膜进行快速退火，获得稳定的p型氧化锌薄膜。
2.按权利要求1所述的一种电感耦合溅射制备稳定空穴型氧化锌薄膜的方法，其特征在于抽真空的真空度低于5×10-3Pa。
3.按权利要求1或2所述的一种电感耦合溅射制备稳定空穴型氧化锌薄膜的方法，其特征在于氩气和氮气的流量比在5∶1～1∶1范围内。
4.按权利要求1或2或3所述的一种电感耦合溅射制备稳定空穴型氧化锌薄膜的方法，其特征在于退火制度为退火温度400～550℃，退火时间为5～10分钟。
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