[发明专利]缺陷检测方法与缺陷检测装置无效
| 申请号： | 200610121844.7 | 申请日： | 2006-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN1920539A | 公开（公告）日： | 2007-02-28 |
| 发明（设计）人： | 小岛广一;金泽英祐 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/956;G01M11/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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